Als het gaat om halfgeleiderproductietechnologie, biedt Rexroth mechatronische modules die zijn ontworpen voor soepele bewegingen tijdens het hanteren van wafers, alsmede contactloos materiaal voor de proceskamers en een hoger niveau van positioneernauwkeurigheid op nanometerschaal. Bosch Rexroth wafer handling en wafer processing oplossingen zijn ontworpen om hoog-dynamische servoaandrijvingen, lineaire subsystemen met hoge stijfheid en pneumatische actuatoren perfect op elkaar af te stemmen - met een hoge stijfheid en zonder overshoot of speling.